一、清洗等离子设备的基本技术原理等离子发生器产生的高压交流电场对氩气、H2、N2、O2、CF4等工艺气体进行激发和振动，平板显示器刻蚀产生高反应性或高反应性的能量等离子体。并混合。使用有机（有机）污渍和细颗粒。 2.等离子清洗不会破坏被处理材料或产品的固有特性，它只会改变接触面。去除（纳米）厚度，即
