根据清洗材料的不同，氩气plasma表面处理机器可选择氧气、氢气、氩气或氮气。（3）在真空电极与接地装置之间施加高频电压，使气体分解，通过光放电产生离子，形成等离子体。允许真空形成的等离子体完全覆盖处理后的工件，逐步开始清洗作业。一般清洗要持续几十秒到几分钟。（4）等离子表面处理器清洗完毕后，切断高
