由于薄膜金刚石在超硬维护涂层、光窗口、热沉数据、微电子等方面都具有重要意义，传统材料表面改性方法研究因此，当人类掌握了金刚石薄膜的制备技术，特别是单晶金刚石薄膜的制备技术后，依靠数据的前史就会由硅材料年代迅速进入金刚石年代。但目前对等离子体化学气相沉积金刚石膜的机理尚不清楚，尤其是异质外延单晶金刚石
