但是,划格附着力等级标准电阻式随机存取存储器的各种存储机制,使得上下电极可以采用相同的材料或与逻辑工艺兼容,大大降低了研发和量产的复杂度和成本。 顶部和底部电极(BE、METAL C、METAL D)和电阻切换层都是用于逻辑后端工艺的材料。电阻开关层HFO2和电极材料TIN、TI、W都是逻辑工艺