半导体的污染杂质和分类半导体制造需要一些有机和无机材料参与完成，无机附着力助剂另外，由于这个过程总是在净化室中由人参与进行的，所以半导体晶圆难免会受到各种杂质的污染。按照污染物的来源和性质，可大致分为微粒、有机物、金属离子和氧化物。1.1微粒微粒主要是一些聚合物、光刻胶和蚀刻杂质。这些污染物主要通过
