就反应机理而言，无机填料表面改性等离子清洗剂一般包括：无机蒸气被激发成等离子态；气相附着于固体表面层；粘性官能团与固体表面分子反应：产生产物分子；形成气相以分析产物分子；分析产物分子以形成气相；将反应残余物与表层分离。聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烯、环氧树脂甚至聚四氟乙烯等聚合物材料可用于加工金属
