限于等离子体密度无法提高，3M亲水性辅料单位面积内的活化离子数目以及化学蚀刻反应也受到了带电粒子数目的限制。在低压状况下(1．333mPa以下)，由于离子数目过低而造成等离子体无法维持的状况，因此电容耦合式电浆很难用于低压下蚀刻而且也不是很有效率。形成的线路图形的精度可以达到线宽 / 间距 0.2～
