等离子刻蚀是一种各向异性刻蚀工艺，怎么解决涂料附着力差它保证了刻蚀图案的准确性（精密度）、特定材料的选择性以及刻蚀效果（效果）的均匀性。在等离子体蚀刻中，基于等离子体作用的物理蚀刻和基于反应性基团作用的化学蚀刻同时发生。等离子蚀刻工艺从相对简单的平板二极管技术开始，发展成为价值数百万美元的组合腔室，
