等离子制造商展示锗在集成电路中的潜在用途以及如何蚀刻它（下）：从作者的角度来看，强附着力防锈油使用高活性蚀刻气体，无论是增加还是使用氯气。似乎对 CHF3 更重要.加速金属零件的蚀刻。影响偏差的影响并不显着，但除了显着的维度差异外，高偏差和低偏差之间的形态差异并不明显。氯流量的进一步增加加速了锗合金
