广东芳如达科技有限公司 2022-12-09 13:49:49 105 阅读
等离子制造商展示锗在集成电路中的潜在用途以及如何蚀刻它(下):从作者的角度来看,强附着力防锈油使用高活性蚀刻气体,无论是增加还是使用氯气。似乎对 CHF3 更重要.加速金属零件的蚀刻。影响偏差的影响并不显着,但除了显着的维度差异外,高偏差和低偏差之间的形态差异并不明显。氯流量的进一步增加加速了锗合金的横向蚀刻,形成了收缩的底部形态。这表明,高活性化学蚀刻气体可以更有效地蚀刻锗,而不会损失太多光刻胶。
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2015年初,SEMI在教导美国政府修改半导体设备出口管制清单方面取得突破:承认我国存在各向异性等离子刻蚀设备,美国国安出口取消了这一长达20年的管制(专业光伏媒体/世纪新能源网)。这也与中微半导体公司等离子清洗机CCP机的命中市场、北方微电子公司逻辑28nm硅刻蚀的历史性突破密切相关。。成就-等离子-等离子技术打动美国汽车行业为了遵守日益严格的环境法规,智能轻量化设计解决方案对汽车行业至关重要。
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