等离子体辐射的主要来源是等离子体中粒子运动状态的变化，引线框架等离子体蚀刻设备尤其是电子的运动状态更加多样化。除了束缚电子之外，还有一个自由电子，它的动能可以不断变化。当它与其他粒子碰撞或受到其他外部场的影响时，运动状态会发生变化，随着能量状态的变化也会发生跃迁辐射。研究常压DBD等离子清洗机中的等
