在刻蚀过程中加入CHF3、N2或CH4等能快速生成聚合物提供侧壁保护的气体，大型工业清洗机使氟、氮或烃类优先吸附在金属铝侧壁上，进一步减少氯原子与铝侧壁的接触反应，保护侧壁，使氯基气体对金属铝的各向异性刻蚀能力更好。利用等离子工业清洗机研究了这三种气体对铝刻蚀后侧壁形貌的影响。结果表明，大型工业清洗
