等离子刻蚀过程中通过处理气体的作用在等离子刻蚀过程中，表面改性塑料球通过处理气体的作用，被刻蚀物会变成气相（例如在使用氟气对硅刻蚀时，下图）。处理气体和基体物质被真空泵抽出，表面连续被新鲜的处理气体覆盖。不希望被刻蚀部分要使用材料覆盖起来（例如半导体行业用铬做覆盖材料），等离子方法也用于刻蚀塑料表面
