等离子腔体、控制设备、13.56MHz的等离子发生器。自动匹配网络都安装在底盘上，喷塑后喷底盘装甲附着力一个连锁的门和面板提供了维护通道。等离子腔体由耐用的高品质铝做成的，并且带有铝支架。腔体里有最多达7个可移动的、可调整的电源极或接地极支架，以适应更款范围的器件、组件或工装Magazines、Tr
