纳米材料的制备：石墨烯、碳纳米管、富勒烯、金刚石薄膜等。材料变化：聚合物、纺织品。半导体行业：新型半导体材料、亚微米蚀刻。涂层：pvd、cvd涂层。可以使用 ECR 方法。材料准备：金属泡沫材料。环保：废气、废气、废水处理。医疗领域：医疗器械低温消毒。电子领域：LCD等电子元器件的表面清洗。提取食品
