初始阶段用高纯N2产生等离子体，泉州在线式等离子机械清洗机同时预热印版，使高分子材料处于一定的活化状态；第二阶段以O2和CF4为原料气，混合后产生O、F等离子体，与丙烯酸、PI、FR4和玻璃纤维反应净化钻井污垢；第三阶段以O2为原始气体，产生的等离子体和反应残留物使孔壁清洁。除等离子体化学反应外，等
