可以说，平板显示器等离子体表面处理机器近年来发展起来的新型清洗技术和设备，如吸尘器、等离子清洗、紫外线/臭氢清洗、激光清洗、干冰清洗等都得到了开发和应用。它代替了传统的湿法清洁，为人类呈现了独特的清洁效果和应用前景。目前等离子清洗设备基本广泛应用于电子工业和精密机械加工领域，也满足了纳米材料、光电设
