等离子清洗技术:环境污染控制、人员劳动保护、技术应用，干法刻蚀玻璃的速度在高密度电子组装、精密机械制造中，湿法清洗工艺日益受限，干法清洗机理及应用研究日益紧迫，等离子清洗技术在干洗中具有明显的优势。本文主要研究了等离子体清洗机理和低温等离子体清洗技术。1、清洗概述在电子行业中是一个非常宽泛的概念，包
