使用方法：等离子装置安装完毕后，半导体干法刻蚀设备公司将喷枪的低温等离子发生器清洗到待处理的产品部位；2.注入的等离子体流是中性的、不带电的；3.低温等离子体发生器用增强材料的结合强度；4.低温等离子体发生器表面性能持久稳定，可长期保存；5.干法处理工艺无污染、无废水，符合环保要求；6.可在生产线上
