目前国内集成电路厂商基本采用进口设备，宿迁大气等离子清洗机多少钱一台采用第三种模式。这具有均匀的等离子体区域、负载不敏感的射频电源和匹配网络以及不会损坏敏感设备的优点。等离子体按激发频率分为射频和微波，频率范围划分如图3所示。高频等离子体现在广泛用于微电子工业。等离子清洗设备在使用过程中，应针对各种
