主要特点：任何湿洗方式洗涤，安徽等离子除胶机作用外部都会有残留物，只有低温等离子体表面处理才能完全净化，获得超高洁净度表面，低温等离子体只对数据纳米级表面有作用，不会改变数据原有特性。在对表面洁净度要求较高的工艺中，它正被广泛应用于代替湿处理工艺。处理机理：主要依靠等离子体中活性粒子的“活化效应”去
此外，安徽等离子除胶机作用在双衬底结构下，随着甲烷浓度的增加，C2基团强度增加更为显著，可有效提高金刚石沉积速率；双衬底结构的射频等离子体发生器电子温度更低，粒子间碰撞更强烈，电子温度随气压升高而降低。。射频等离子体清洗机对提高GaAs半导体器件的工作可靠性具有重要作用；GaAs因其优异的光电性能而