在均质等离子体中，漆膜附着力校准规程离子电流和电子电流在一个射频周期内局部平衡，当栅极氧化电位很小时，但在非均质等离子体中，局部电位不平衡会在晶圆表面形成电流通路，造成栅极氧化损伤。等离子体中的电子比离子的方向性差也就是说，电子的入射角分布大于离子的入射角分布，更容易被光刻胶遮挡。正离子在蚀刻前端聚
