气体被激发成电晕状态；重颗粒撞击固体表面；电子和活性基团与固体的外观发生反应，如何处理电晕现象分解成脱离外观的新的气态物质。电晕清洗技术的一大特点是无论处理目标的基材类型如何，都可以进行处理，可以处理金属、半导体、氧化物和大部分高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亚胺、聚氯乙烷、环氧，甚至聚四氟乙烯等，
