中频等离子体产生的反应是物理反应，蚝油对那种塑料的附着力小高频等离子体产生的反应既是物理反应又是化学反应，微波等离子体产生的反应是化学反应。射频等离子清洗和微波等离子清洗主要用于实际的半导体制造应用，因为中频等离子清洗对待清洗表面的影响最大。中频等离子体是表面脱胶、毛刺研磨和其他处理的理想选择。典型
