这导致嵌段共聚物填充先前定义的图案,如何增强硝基漆的附着力在图案的边界处发生相变,然后逐渐扩散到体内。一个功能对我们有用。如果最初定义的接触孔直径为68nm,这种方法可以将第二次定义后的接触孔缩小到20nm。同时,可以利用之前图案的不同形貌,调整嵌段共聚物的形貌,实现不同形状、大小甚至不同密度的接触