2.材料表面的蚀刻效果-物理效果等离子清洁器中的大量离子、激发分子、自由基和其他活性粒子作用于固体样品的表面。表面去除）原始污染物和杂质也会产生蚀刻，粗糙度与附着力使样品表面粗糙，形成许多细小凹坑并增加样品的比表面积。提高固体表面的润湿性。 3、新官能团的形成——化学作用当将反应气体引入放电气体时，
