等离子体清洗还具有以下几个特点：容易采用数控技术，天津低温等离子电晕处理机维修自动化程度高；具有高精度的控制装置，时间控制的精度很高；正确的等离子体清洗不会在表面产生损伤层，表面质量得到保证；由于是在真空中进行，不污染环境，保证清洗表面不被二次污染。。湿法清洗在现阶段的微电子清洗工艺中还占据主导地位
