向气体施加足够的能量以将其电离成等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、反应基团、激发核素（亚稳态）、光子等。等离子表面处理设备利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，山西大气等离子清洗机生产商达到清洗、改性、光刻胶灰化等目的。等离子体是物质的一种存在状态，通常以固态、液态、气态三种状
