这种气体主要与在线等离子体结合使用，PFC等离子体去胶机以（化学）活化和改性材料表面。当然，它也可以在真空环境中使用。氮气 (N2) 是提高材料表面润湿性的绝佳选择。氮气作为惰性气体，主要用作等离子清洗过程中的非反应性气体。氮等离子处理可以提高材料的硬度和耐磨性。在某些情况下，氮气也可以作为反应气体
