金属电极的尺寸通常决定等离子系统的总体容积。在金属电极平行分布的等离子表面处理器中，大连附着力强涂料金属电极通常用作托盘，大金属电极可以一次清洁更多的部件，提高设备的运行效率。。实际上，相对于理想的半无限大连续光滑表面，还普遍存在粗糙、微小的凸起。其对应结构还表现出纳米颗粒的另一种结构形式：局部表面
