氩等离子体的优点是清洁材料表面时不留下氧化物。缺点是可能会发生过度腐蚀或污染颗粒在其他不良区域的再积累，广东常压大气在线等离子设备找哪家但这些缺点可以通过微调工艺参数来控制。1.3物理和化学反应同时进行的清洗在清洗过程中，物理反应和化学反应都起着重要的作用。例如，Ar和O2的混合气体用于在线等离子体
