“三步蒸镀法”广泛用于CIGS薄膜太阳能电池的制造。一条生产线需要三个蒸发器和硒化器。铜、铟和镓层分别涂敷并硒化。有毒的特殊气体，上海真空等离子处理设备多少钱以及无法控制镀层的均匀性，在制硒过程中容易对环境造成一定的污染。长盛NEC公司创新开发了CIGS一步共蒸法，完成了核心蒸镀装置的试制，从根本上
