但是随着器件的缩微，嘉兴等离子清洗机品牌厂家要求多晶硅栅头对头的距离越来越小，这时仅仅靠控制LES已经无法满足工艺的要求，引入双图形(Double Patterning)切断工艺可以很好地解决这一问题，双图形工艺早在2010年前已经被提出，三星公司的技术遭到新墨西哥大学诉讼，此后，双图形技术发明得到
