相比前两种方式，江西等离子清洗机装置分子泵等离子表面处理机感应耦合式等离子体加平行碳板方式中性粒子束蚀刻技术将拥有更好的应应用前景。 随着芯片特征尺寸逐渐缩小，对蚀刻工艺的要求也会越来越高。当特征尺寸缩小到7nm 以下时，对于可准确控制的各向异性蚀刻工艺需求也变得越来越急迫。 PFM的主要功能是：
