电晕按气体可分为以下两种：活性气体和非活性气体电晕：根据产生电晕所用气体的化学性质不同，电晕机产生什么气体可分为非活性气体电晕和活性气体电晕两种。惰性气体如氩(Ar)、氮气(N2)、氟化氮(NF3)、四氟化碳(CF4)和空气，活性气体如氧气(O2)和氢气(H2)。不同类型气体在清洗过程中的反应机理不
