非反应性等离子气体主要包括Ar、He等惰性气体。惰性气体不直接参与材料表面的反应，含氧官能团都有亲水性吗但等离子体与材料表面碰撞后，会产生大量的聚合物自由基。在表面形成致密的交联层，同时它可以与空气中的氧相互作用，将氧结合到聚合物链上，并在材料表面引入含氧官能团。以上就是等离子清洗机表面改性的机理，
