由于等离子体产生的辉光放电是真空紫外光，填充改性表面处理的实质其对刻蚀率有十(分)积极的影响，气体中包含中性粒子、离子和电子。中性粒子和离子温度102k~103k，电子能量对应的温度高达105k，被称为“非平衡等离子体”或“冷等离子体”，表现为电中性（
