而利用电晕设备同步脉冲和其他子代，电晕机为什么烧igbt在不影响其他性能的情况下，可以降低HBr的解离速率，显著提高NBTI。与电晕设备中H2含量较低的N2/H2灰化工艺相比，H2含量较高的N2/H2在伪栅去除后的光致去除工艺中可使NBTI失效时间增加一个数量级。。研究了电晕设备的栅电极氧化层被电晕
