它通常在高温下使用，薄膜清洁机特殊的前体允许较低的反应温度。然而，这些方法受到合成复杂亚稳态薄膜的环境保护和热力学要求的限制。与 CVD 方法相比，PVD 方法对环境友好，从热力学的角度来看，它适用于沉积 3 组分和 4 组分多组分超硬薄膜。这种类型的方法通常在较低的沉积温度下使用。冷等离子发生器可
