增加表面活性的过程称为等离子清洗。这种机制达到去除物体表面污垢的目的，南沙在线式等离子玻璃清洗机主要依靠等离子体中活性粒子的“活化”。这通常涉及以下过程：当无机气体被激发成等离子态时，气相物质被吸附在固体表面，吸附的基团与固体表面分子发生反应，形成产物分子。产物分子分解形成气相，反应残渣与表面分离。
