二、物理反应电浆清洗 利用等离子中的离子进行纯物理冲击，附着力等级表气泡登记表清除附着在材料表层的原子，也称为溅射腐蚀（SPE）。氩气用于清洁，氩气用足够的能星轰击器件表层，足以清除任何污垢。聚合物中的大分子化学键被分离成小分子并蒸发，并通过真空泵排出。同时，氩气等离子清洗后，可以改变材料表层的微观
