2.等离子表面处理设备真空泵的维护流程详解a 真空泵除油更换； b 真空泵内腔和转子的清洗抛光；旋片和小旋片；1级旋片和2级旋片各有小片（2片），南京等离子清洗机厂家哪家好小旋片是小片；拆下真空泵旁通阀片； d 拆下真空泵油位 监测窗玻璃；更换真空泵转子吸滤器； e 更换真空室密封件。 f 卸下并更
