该聚酰亚胺薄膜可被原子氧迅速氧化为挥发性气体，简述塑料薄膜电晕放电处理法原子氧被机械泵抽走，从而去除硅块上的聚酰亚胺薄膜。电晕脱胶具有脱胶操作简单、脱胶效率高、表面层清洁、无划痕、成本低、环保等优点。电晕脱胶机通常采用电容耦合电晕平行板反应器。在平行表面电极反应器中，反应离子腐蚀室选择小阴极面积和大
