具体分类如下:分类高温等离子体低温等离子体热等离子体冷等离子体温度范围10^6~10^8K10^3~10^5K10^2~10^5K热力学性质热力学平衡局部热力学平衡非热力学平衡应用范围太阳上等离子体电弧等离子体辉光放电受控热核聚变高频等离子体电晕放电。plasma等离子发生器广泛应用于刻蚀、脱胶、涂