鉴于微电子组装封装规模越来越大，亲水性物质改变水的PH吗对产品质量的要求越来越高，在微电子组装封装加工中使用等离子体清洗设备技术迫在眉睫。等离子体纯化是一种提高表面活性的过程。射频的输入可将气体电离为含有正离子、负离子、自由电子等带电粒子和正负电荷相同的中性粒子的等离子体。这种等离子体通过化学和物理
