这些活性粒子可以与表面材料发生反应,电杆耦合等离子体质谱仪 钆反应过程如下:电离-mdash;—气体分子;—兴奋——激发态分子——清洁;—活化表面等离子清洗机在LCD行业中的应用等离子体产生的原理如下。从上图可以看出