在集成电路的金属互连和绝缘层保护过程中，中空板电晕机许多高温过程都会产生机械应力。由于金属材料和绝缘材料的热膨胀系数不同，这些高温过程会在金属层铝或铜中引入较大的应力，机械应力的大小与温度成反比。应力引起的金属层中空洞的形核或长大是一个扩散过程，与温度成正比。在机械应力和扩散的共同作用下，应力传递诱
