用来限制放电区域的屏蔽罩是-一个呈托盘状不锈钢构件,它与真空腔壁同电位,在该屏蔽罩中布置了一个与它绝缘的、由板状底盘和网格状栅网组成的栅极;在该栅极.上方又设置了一个引出等离子体的并与屏蔽罩连接的网式加速极,屏蔽罩与栅极分别与射频电源的两个输出电极相连接,抽到一定真空度后向真空室中动态地充入氩气与水
