典型的等离子物理清洗工艺是在反应室中加入氩气，附着力的因素有哪些作为等离子清洗的辅助手段。氩气本身是一种惰性气体，等离子体氩气。 , 不与表面发生反应，而是通过离子的影响清洁表面。射频等离子清洗机使用射频电源。也就是说，我们等离子设备的中频与射频等离子设备的中频差异取决于所使用的相应电源。无线电频率
