主要用于金属表面的清洁。发生氧化物和还原反应。等离子清洗剂主要用于用氧气清洗物体表面的有机物并引起氧化反应。另一种类型是使用非反应性气体（如氩气、氦气和氮气）的等离子清洗机。氮等离子处理可以提高材料的硬度和耐磨性。氩氦性质稳定，yamato等离子表面清洗机放电电压低（氩原子的电离能E为15.57EV
